姓名:
邮箱:
电话:
单位名称:
描述:
姓名: 电话:
邮箱: 单位名称:
描述:
预约时间:      日 
  • 星期日
  • 星期一
  • 星期二
  • 星期三
  • 星期四
  • 星期五
  • 星期六
新闻资讯 News
  首页    >   新闻资讯   >   

几种常见的飞秒微加工系统光学设计类型

作者:卓知科仪(北京)技术有限公司     发布时间:2021年04月25日     阅读次数:227

飞秒微加工系统是光学仪器加工过程中经常用到的系统设备,它主要利用了光学聚焦的原理,一般常用的飞秒微加工系统所使用的光束为真空紫外线光束,这是光束在光学中比较常见,而且在光学设计方面类型也比较多。

由于飞秒微加工系统所使用的真空紫外线与软X射线、可见光和红外波段存在许多光传输特性的差异,所以在进行微加工时都需要进行衍生设计,例如在真空环境下,本身具有比较低的反射率、如果选择折射率比较高的材料,将会导致成像困难、高能粒子无法聚焦的情况出现,因此在其光谱仪的设计中,一般都要遵循光路中反射元件较小化和采用掠入射的原则。

下面介绍几种常用的飞秒微加工系统的光学设计

一、C-T

使用大量的平面光栅和单独的聚焦和准直镜是一种飞秒微加工系常见的结构。通过光栅旋转实现波长的线性定位,旋转点与光栅表面重合。聚焦和调整光学所形成的光点形状可以是球形、椭圆形、环形或抛物线形,具体取决于飞秒微加工系统仪器的要求。本设计提供了一种CCD探测器的焦平面,经常用于紫线普光仪器的设计,也有其他普光仪器在设计时也会应用到这种系统构造。

二、十字交叉C-T

交叉C-T光路使入射角较小化。这通过减小像差来提高光学性能。C-T交叉光束在真空或氮气中光束长度可以自由调节,直到适合工业生产指标。

三、正入射单色仪

飞秒微加工系统中所用到的正入射单色仪主要是采用凹面光栅对光进行分散和聚焦。由于光学表面聚焦点会自动缩小,所以在光学设计中光束的工作波长也可以自动调整,也正是优于这种光学特性,使得飞秒微加工系统设备成为了这种光学设计的专用设备。另外,在光学设备中波长驱动器也可以用来旋转和聚焦光栅,以获得高光谱分辨率,正是优于这种功能,使得该仪器也可适用于作为CCDMCP等光学设备的增强型探测器。

上一篇: 飞秒微加工系统的发展现状与主要构造
下一篇: 齐聚杭州 共同见证中国光学科研持续发展之路!

京ICP备20017928号 Processed in 0.112 second(s), 9 queries 法律声明