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用于3D增材制造的FemtoLAB-MPP系统

Workshop of Photonics (WOP)致力于开发超快激光微加工设备和解决方案。 近来, 多光子聚合(MPP)这种3D增材制造技术发展很快。 这种独特的技术能制造微米尺度的3D结 构, 而且结构具有纳米级分辨率。 WOP和维尔纽斯大学激光研究中心合作, 共同开发此项 技术。

【概述】

标准的激光直写系统可以复制小至200 nm的结构, 通过自聚合技术, 最小线宽甚至窄至90 nm。 该飞秒激光3D纳米光刻工艺可重复制造相同的结构, 结合冲压技术后加工速度会更快。 我们可以使用同一台激光器完成激光烧蚀和其它各种微加工工艺,如打微孔等,这使得我们的系统更灵活,适用于多种多样的应用。


MPP是用于以纳米分辨率对微米级对象进行3D构造的独特技术。

我们开发的激光微加工工作站可在单个基板上实现增材制造和减材制造的结合。在全球范围内进行数十种定制系统设计的经验使我们能够选择您价格范围内的最佳解决方案。


【技术指标】

  1. 波长– 780 nm

  2. 重复频率– 100MHz

  3. 脉冲持续时间<100 fs

  4. 平均功率> 50 mW

  5. 用户友好的专有软件包SCA


【主要特点】

  1. 分辨率:200 nm – 10μm

  2. 多种聚合物可供选择

  3. 拼接无错激光笔

  4. 能够在书写过程中更改书写分辨率

  5. 复杂的3D对象和任意微结构的制造

  6. 重复性和稳定的工作流程

  7. 可以将新结构原位整合到现有结构中


【多光子聚合】









※  高分辨率3D增材制造

※  快速成形制作

※  高分辨率机器视觉来识别样品

※  兼容多种商用光刻胶(SZ2080, SU-8, OrmoClear等)可选配OPA来扩展波长范围

※  如需快速加工, 我们建议采用扫描振镜和位移台联动方案



多光子聚合的主要应用:

※  微光学

※  光子晶体加工

※  光互联

※  光纤微光学

※  用于组织生长的人工支架制作自组织3D结构

※  芯片实验室(LOC)应用

※  微流体

※  用于特殊用途的定制结构


更多应用

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